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PVD镀钛加工技术目前主要应用的行业
PVD涂层加工镀膜技术的应用主要分为两大类:装饰镀膜和工具镀膜。装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命;这方面主要应用五金行业的各个领域,如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。工具镀的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系数,提高工件的使用寿命;这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具(如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等)、各种五金工具(如螺丝刀、钳子等)、各种模具等产品中
PVD镀钛加工技巧
PVD制造向多层化、积层化、功能化和集成化方向迅速的发展。促使印制电路设计大量采用微小孔、窄间距、细导线进行电路图形的构思和设计,随着微电子技术的飞速发展。使得PVD制造技术难度更高,特别是多层板通孔的纵横比超过5:1及积层板中大量采用的较深的盲孔,使常规的垂直电镀工艺不能满足高质量、高可靠性互连孔的技术要求。
其主要原因需从电镀原理关于电流分布状态进行分析,通过实际电镀时发现孔内电流的分布呈现腰鼓形,出现孔内电流分布由孔边到孔中央逐渐降低,致使大量的铜沉积在外表与孔边,无法确保孔中央需铜的部位铜层应达到规范厚度,有时铜层极薄或无铜层,严重时会造成无可挽回的损失,导致大量的多层板报废。
为解决量产中产品质量问题,目前都从电流及添加剂方面去解决深孔电镀问题。高纵横比PVD电镀铜工艺中,大多都是优质的添加剂的辅助作用下,配合适度的空气搅拌和阴极移动,相对较低的电流密度条件下进行的使孔内的电极反应控制区加大,电镀添加剂的作用才干显示进去,再加上阴极移动非常有利于镀液的深镀能力的提高,镀件的极化度加大,镀层电结晶过程中晶核的形成速度与晶粒长大速度相互补偿,从而获得高韧性铜层。
这两种工艺措施就显得无力,然而当通孔的纵横比继续增大或出现深盲孔的情况下。于是发生水平电镀技术。垂直电镀法技术发展的继续,也就是垂直电镀工艺的基础上发展起来的新颖电镀技术。这种技术的关键就是应制造出相适应的相互配套的水平电镀系统,能使高分散能力的镀液,改进供电方式和其它辅助装置的配合下,显示出比垂直电镀法更为优异的功能作用。
PVD涂层加工技术
就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程。电镀时,镀层金属做阳极,被氧化成阳离子进入电镀液;待镀的金属制品做阴极,镀层金属的阳离子在金属表面被还原形成镀层。为排除其它阳离子的干扰,且使镀层均匀、牢固,需用含镀层金属阳离子的溶液做电镀液,以保持镀层金属阳离子的浓度不变。电镀的目的是在基材上镀上金属镀层,改变基材表面性质或尺寸.电镀能增强金属的抗腐蚀性(镀层金属多采用耐腐蚀的金属)、增加硬度、防止磨耗、提高导电性、润滑性、耐热性、和表面美观。
PVD电镀膜技术的主要特点和优势,PVD电镀膜具有如下优点:
1 .膜层与工件表面的结合力强,更加持久和耐磨
2 .离子的绕射性能好,能够镀形状复杂的工件
3 .膜层沉积速率快,生产效率高
4 .可镀膜层种类广泛
5 .膜层性能稳定、安全性高(获得FDA认证,可植入人体)
满足模具的经济性要求,材料的选择是需要考虑这一原则的特定经济学,尽可能地降低制造成本。因此,要满足的前提下,以较低的价格首选的性能,请不要使用碳素钢,合金钢,不使用国产材料进口材料。此外,当选择也应考虑市场的生产和供应,所选择的钢种应尽量少而集中,易购买。
PVD涂层加工作为一种新型涂层材料,具有硬度高、氧化温度高、热硬性好、附着力强、摩擦系数小、导热率低等优良特性,有望部分或完全替代TiN ,尤其适用于高速切削。文中对国内外TiAlN涂层刀具的发展与应用状况进行了综合评述,并着重分析了TiAlN涂层工艺及其切削性能。
对刀具进行涂层处理是提高刀具性能的重要途径之一,随着涂层刀具的出现,使刀具切削性能有了重大突破。涂层刀具可以提高加工效率和加工精度,延长刀具使用寿命,降低加工成本。
自20世纪70年代以来,刀具涂层技术取得了飞速发展,涂层工艺越来越成熟。西方工业发达国家使用的涂层刀片占可转位刀片的比例已由1978年的26%增加到1985年的50~60%。新型数控机床所用切削刀具中有80%左右使用涂层刀具。瑞典山特维克公司和美国肯纳金属公司的涂层刀片的比例已达80~85%以上。美国数控机床上使用涂层硬质合金刀片比例为80%,瑞典和德国车削用涂层刀片已占70%以上。1981年~1985年期间,前苏联的刀具产量增加了16%、硬质合金刀具增加了29%,而涂层刀具则增加了5倍。涂层刀具己成为现代刀具的重要标志,并将是今后数控加工领域中最重要的刀具品种之一。
TiAlN涂层作为一种新型涂层材料,具有硬度高、氧化温度高、热硬性好、附着力强、摩擦系数小、导热率低等优良特性,尤其适用于高速切削高合金钢、不锈钢、钦合金、镍合金等材料。在要求高耐磨性的场合下,鉴于TiN涂层在高温性能方面所表现出的不足,TiAlN有望部分或完全替代TiN,因此,TiAlN涂层刀具具有极其广阔的应用前景。
自1985年Knotek等首次发表了关于TiAlN涂层的研究成果后,人们便对其优异的抗高温氧化能力和良好的使用性能表示了极大的关注,已经用多种PVD方法成功制备了TiAlN膜。由于TiAlN涂层的制备方法不尽相同,已见报道的TiAlN涂层的性能也有差异。TiAlN涂层具有高的硬度和氧化温度,随着涂层的多层化和纳米化,TiAlN涂层的性能正在逐渐提高。TiAlN的化学稳定性好,抗氧化磨损能力强,其硬度为3400~3600HV),耐磨性仅低于类金刚石膜,是目前国际工具行业最为推崇的超硬涂层。当Al含量超过50%时,为了区别于TiAlN,有人称其为AlTiN。AlTiN涂层的硬度随含铝量的增加而提高,铝含量可以超过65%;当铝含量提高后也会形成较软的AlN相,使其硬度降低,但是铝含量并不是影响硬度的唯一因素。AlTiN的硬度可达4500HV。目前TiAlN/Al2O3多层PVD涂层加工也已研究成功,这种刀具的涂层硬度可达4000HV,涂层数为400层(厚度5nm),切削性能优于TiC/l2O3/TiN涂层刀具。
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