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DLC膜在红外区具有很高的透过率
DLC涂层具有良好的耐磨、减磨特性,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC膜在红外区具有很高的透过率,在可见光区有一定程度的吸收,它的折射率一般在1.5-2.5,受沉积技术的影响而有所不同,根据工艺条件不同而改变。另外,DLC具有优异的抗腐蚀能力,耐酸、耐碱。正是由于DLC的这些特性,DLC一直被广泛用在红外窗口器件上,用于保护涂层。
涂层(coating)是涂料一次施涂所得到的固态连续膜,是为了防护,绝缘,装饰等目的,涂布于金属,织物,塑料等基体上的塑料薄层。涂料可以为气态、液态、固态,通常根据需要喷涂的基质决定涂料的种类和状态。
依据所用涂料的种类而有不同的称呼,如底漆的涂层称为底漆层,面漆的涂层称为面漆层。一般涂料所得涂层较薄,约在20~50微米,厚浆型涂料则一次可得厚达1毫米以上的涂层。
DLC涂层是为了防护,绝缘,装饰等目的,涂布于金属,织物,塑料等基体上的塑料薄层。
DLC涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初,和普通的应用于刀具/模具上的硬质涂层(如TiN, TiAlN, CrN, TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。目前在世界范围内,能将这一技术很好应用的厂家也屈指可数。DLC是新一代硬质涂层技术和应用的典型代表以及发展方向。
由于含有金刚石成分,DLC具有很多优良的特性:高硬度-60GPa或Hv6000以上;低摩擦系数-0.06;极好的膜层致密性;良好的化学稳定性以及良好的光学性能等。应用于刀具上的DLC涂层所表现出的特殊性能远超过其它硬质涂层。涂以DLC的刀具主要应用包括:石墨切削,各种有色金属(如铝合金,铜合金等)切削,非金属硬质材料(如亚克力,玻璃纤维,PCB材料)切削等。
DLC涂层是属于亚稳态的材料,所以其热稳定性很好,这使它在机械行业中有了很大的生存地位。其次它的力学性能好,硬度大,弹性好,所以在很多工业刀具中它得到良好的应用。
DLC涂层真空镀膜机制备的DLC涂层(类金刚石涂层), 具备质量稳定,与基体结合力好,耐磨性好,摩擦系数低,耐腐蚀性好等综合优良性能。
DLC涂层真空镀膜特点:
1、是一个很好的自润滑塑料加工应用涂层;
2、涂层特别致密,不起化学作用,沉积膜是1~3μm,硬度是2000HV~2500HV;
3、具有优异的摩擦磨损性能,耐高温350℃,并具有很高的耐粘接剂和磨粒磨损;
DLC涂层的主要作用有以下三点:
(1)保护作用。铝合金型材在使用过程中,长期暴露于空气中,会受到氧、水分、酸物、盐雾及各种腐蚀性气体、紫外光线等的侵蚀和破坏。在需要受到保护的工件表面通过一定的涂装工艺方法形成具有一定厚度的涂层(即保护层),从而起到保护作用。
(2)装饰作用。涂料可以配制出多种多样的颜色,加上涂层平整光亮,甚至可以做出各种立体质感的效果,如锤纹、橘纹、晶纹、绒面等,使产品形成美丽的造型和外观以及所需要的特种性能,起到美化人类生活环境的作用。
(3)其他作用。DLC涂层除了具有保护和装饰作用外,还具有许多特殊的功能,如电绝缘、导静电、防污、耐热、耐磨、保温、反光、防噪声、减震、防滑、防紫外线等。涂层的这些特殊功能,增强了产品的使用性能,拓宽了产品的适用范围,使DLC涂层产品在国民经济领域的应用越来越广泛。
DLC涂层力学性能
a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大,用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10],有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜最高硬度可达50GPa以上,而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响, Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量,虽低于金刚石(1100GPa),但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。
内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命,影响薄膜性能的两个重要因素,内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱,甚至脱落,所以制备的DLC膜最好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明,直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低,广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度,在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N[12],制备的膜导总体厚度可达5um。
DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数最低可达0.005[13]。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。国此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。
由于DLC属亚稳态的材料,热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素,在300?C以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变,为此,人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现:Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性,含20 at%Si的DLC膜在740?C退火时才出现sp3键向sp2键转变[15]。同样,金属(如Ti、W、Cr)的掺入也可提高DLC膜的热稳定性,我们正在对这方面进行研究。
纯DLC膜具有优异的耐蚀性,各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降,这是由于掺杂的元素首先被侵蚀,从而破坏了膜的连续性所致。
表面状态
DLC膜表面一般较光洁,对基材的表面光洁度没有太大的影响,但随着膜厚的增加,表面光洁度会下降。不同的沉积方法所得到的DLC膜表面光洁度也是不同的,广州有色金属研究院采用离子源技术沉积的DLC膜表面质量明显优于电弧离子镀。
DLC膜具有很好的抗粘结性,特别是对有色金属(如铜、铝、锌等),对塑料、橡胶、陶瓷等也有抗粘结性。
近年来,DLC涂层在工业领域得到了越来越广泛的技术应用,尤其是自20世纪90年代中期以来,作为汽车零部件保护性涂层得到快速发展。
DLC涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数,并且具有极强地不与金属材料粘结的性能。因此,这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。
DLC涂层的显微结构,实际上,DLC涂层是指一个涂层种类,其包含有许多不同的涂层组分和生产工艺。
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