选择真空镀膜设备要考虑设备的各种性能特点

   在选择真空镀膜设备时会考虑设备的各种性能特点，结合自身所镀产品的需要综合考核，总结以下真空镀膜机选购要点：

1手动自动的选择

根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

2真空镀膜设备充气方式的选择

充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。

3镀制方式的选择

根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。

4真空镀膜设备夹具的工作模式

夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

5选择真空镀膜机的类型

根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

6真空系统

真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

7烧烤仪表的选择

根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

8选择报警系统

完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

9选择炉体材质

炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

    真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。

    在真空条件下成膜有很多优点：可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低。