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一、PVD - 涂层的技术
1.增强型磁控阴极弧:阴极弧技术是在真空条件下,通过低电压和高电流将靶材离化成离子状 态,从而完成薄膜材料的沉积。增强型磁控阴极弧利用电磁场的共同作用,将靶材表面的电弧 加以有效地控制,使材料的离化率更高,薄膜性能更加优异。
2.过滤阴极弧:过滤阴极电弧(FCA )配有高效的电磁过滤系统,可将离子源产生的等离子体中的 宏观粒子、离子团过滤干净,经过磁过滤后沉积粒子的离化率为100%,并且可以过滤掉大颗 粒,因此制备的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蚀性能好,与机体的结合力很强。
3.磁控溅射:在真空环境下,通过电压和磁场的共同作用,以被离化的惰性气体离子对靶材进行 轰击,致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹出并沉积在基件上形成薄膜。根据使用的电离 电源的不同,导体和非导体材料均可作为靶材被溅射。
4.离子束DLC:碳氢气体在离子源中被离化成等离子体,在电磁场的共同作用下,离子源释放出碳 离子。离子束能量通过调整加在等离子体上的电压来控制。碳氢离子束被引到基片上,沉积速 度与离子电流密度成正比。星弧涂层的离子束源采用高电压,因而离子能量更大,使得薄膜与 基片结合力很好;离子电流更大,使得DLC膜的沉积速度更快。离子束技术的主要优点在于可沉 积超薄及多层结构,工艺控制精度可达几个埃,并可将工艺过程中的颗料污染所带来的缺陷降 至最小。
二、涂层注意事项:
1 可涂层材料: 各类模具钢材,工具钢,高速钢,不锈钢,硬质合金(钨钢),钛合金,镍合 金,铍铜等。
2 涂层部位:待涂层的工件需要有可以装夹的部位,不可能实现全部涂覆。如果有特殊部位不能 涂层,需要提前告之,建议您在工件上明确标识 出以下部位,:必须涂层的部位,不能涂层的 部位,可涂可不涂的部位。
3 涂层工件表面要求:
工件表面不能做其它的表面改性处理,如:电镀、渗氮、磷化、氧化发黑、TD、QBQ处理等;
工件表面不能有锈蚀、腐蚀、油漆、胶水等;
工件表面粗糙度要求:一般的刀模具在满足使用需求的前提下越光亮越好,成型面Ra<0.2μm 为宜,对于镜面、蚀纹的塑胶 模具则完全以产品需求为准;
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